Mikro- und Nanointegration

In der modernen Fertigung sind innovative Lösungen gefragt, um den steigenden Anforderungen gerecht zu werden. Hierzu entwickeln und integrieren wir mikrotechnologische Komponenten, die speziell auf die jeweilige Anwendung zugeschnitten sind. Unsere Expertise reicht dabei von der Prozessentwicklung bis hin zur Qualitätssicherung. Ein Fokusthema ist dabei die Fertigung von Dünnfilmsensoren für die präzise Erfassung von Messgrößen wie Dehnung und Temperatur. Weiterhin erforschen wir Mikrosysteme für biomedizinische Themen und untersuchen in der Mikrotribologie Reibungs-, Verschleiß- und Schmierverhältnisse auf mikro- und nanomechanischer Ebene. Um eine optimale elektrische und mechanische Kontaktierung zu gewährleisten, entwickeln wir im Rahmen der Systemintegration maßgeschneiderte Aufbau- und Verbindungstechniken. Ein weiterer Schwerpunkt ist die Nutzung von Künstlicher Intelligenz. Wir entwickeln Algorithmen, die bspw. in Sensordaten Muster erkennen, um ein umfassendes Prozessverständnis zu schaffen und neue Möglichkeiten zur Steuerung und Optimierung zu eröffnen.