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Kleine Laborarbeit (AML)

Aktualisiert am 12.06.2019

Art der Vorlesung: Labor
Semester: Sommersemester
Studium: Grundstudium / Bachelor
E-Mail: lehreimpt.uni-hannover.de
Raum/Ort: Reinraumlabor des IMPT

Beschreibung

Das IMPT bietet den Versuch "Untersuchung des Galvanischen Abscheideprozesses im Rahmen der Kleinen Laborarbeit (ehem. AML) an. Im Rahmen dieses Versuches soll ein Wafer galvanisch strukturiert werden. Anhand der Messdaten sind die theoretische Schichthöhe zu bestimmen und mit der gemessenen Schichthöhe zu vergleichen. Ferner gilt es die Schichtdickenverteilung über der Waferoberfläche zu beurteilen.

Informationen zu Ort, Datum, Durchführung

Die Versuche werden im Reinraumlabor des IMPT, An der Universität 2, Garbsen (Produktionstechnisches Zentrum Hannover, PZH) durchgeführt. Treffpunkt ist am Versuchstag zur jeweils angegebenen Zeit im Projektraum des IMPT (Raumnummer 8113.11.19) schräg gegenüber dem Sekretariat des IMPT (1. Etage).

Gewöhnlich werden pro Versuchstag Labore für eine Gruppe mit je 6 Personen durchgeführt.

Zu Beginn wird ein Testat zur Überprüfung der Vorkenntnisse durchgeführt, die ein gründliches Studium des Skriptes vorab erfordern. Dies ist Voraussetzung zur Teilnahme am praktischen Teil der Kleinen Laborarbeit.

Bitte beachten Sie unbedingt die aktuellen Aushänge und die Informationen im StudIP (auch online auf dem SBMB)!

Skript zum AML

Das jeweils aktuelle AML-Skript steht zum Download als PDF-Datei auf StudIP zur Verfügung.

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