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Allgemeines Messtechnisches Labor (AML)

Aktualisiert am 27.06.2014

Art der Vorlesung: Labor
Semester: Sommersemester
Studium: Grundstudium / Bachelor
Betreuer: Alexander Kassner
Mathias Rechel
Dozenten/Professoren: Prof. Dr.-Ing. Lutz Rissing
E-Mail: kassnerimpt.uni-hannover.de
Creditpoints: -
Vorlesungstag/Uhrzeit: Beginn jeweils um 14:00Uhr
Raum/Ort: Reinraumlabor des IMPT
Termin 12. 19. 26. April und 03. 10. 17. 24. 31. Mai und 07. 14. 21. 28. Juni und 05. 12. Juli

Beschreibung

Das IMPT bietet den Versuch "Untersuchung des Galvanischen Abscheideprozesses im Rahmen des Allgemeinen Messtechnischen Labors (AML) an. Im Rahmen dieses Versuches soll ein Wafer galvanisch strukturiert werden. Anhand der Messdaten sind die theoretische Schichthöhe zu bestimmen und mit der gemessenen Schichthöhe zu vergleichen. Ferner gilt es die Schichtdickenverteilung über der Waferoberfläche zu beurteilen.

Informationen zu Ort, Datum, Durchführung

Die Versuche werden im Reinraumlabor des IMPT, An der Universität 2, Garbsen (Produktionstechnisches Zentrum Hannover, PZH) durchgeführt. Treffpunkt ist am Versuchstag zur jeweils angegebenen Zeit im Projektraum des IMPT (Raumnummer 8113.11.19) schräg gegenüber dem Sekretariat des IMPT (1. Etage).

Gewöhnlich werden pro Versuchstag Labore für eine Gruppe mit je 6 Personen durchgeführt. Beginn ist im Allgemeinen um 14:00 Uhr

Zu Beginn wird ein Testat zur Überprüfung der Vorkenntnisse durchgeführt, die ein gründliches Studium des Skriptes vorab erfordern. Dies ist Voraussetzung zur Teilnahme am praktischen Teil des AML.

Bitte beachten Sie unbedingt die aktuellen Aushänge (auch online auf dem SBMB)!

Skript zum AML

Das jeweils aktuelle AML-Skript zum Download als PDF-Datei.

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