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Mikro- und Nanotechnologie (V2/Ü1) - Belegnummer 31457

Aktualisiert am 06.09.2015

Art der Vorlesung: Vorlesung/Übung
Semester: Wintersemester
Studium: Grundstudium / Bachelor
Hauptstudium / Master
Betreuer: Johannes Rittinger
Dozenten/Professoren: Dr.-Ing. M. C. Wurz
E-Mail: rittingerimpt.uni-hannover.de
Creditpoints: 4
Vorlesungstag/Uhrzeit: Do. 11:15 - 12:45 Uhr
Raum/Ort: Raum 10.30 (Hörsaal) Gebäude 8110 (PZH)
Termin Beginn am 22. Oktober 2015

Übung

Do. 13.00 - 13.45 Uhr
Raum 10.30: Hörsaal
Gebäude 8110 (PZH)

Beginn am: 22. Oktober 2015

Beschreibung

Ziel der Vorlesung ist die Vermittlung von Kenntnissen über Prozesse und
Anlagen, die der Herstellung von Mikrobauteilen in Dünnfilmtechnik dienen.
Dabei stehen Technologien zur Fabrikation dieser Bauteile in einem als „Frontend
Prozess“ bezeichneten Waferprozess im Mittelpunkt. Die Herstellung der
Mikrobauteile erfolgt durch Einsatz von Beschichtungs-, Ätz- und Dotiertechniken
in Verbindung mit Photolithographie.

Inhalte

  • Grundlagen der Vakuumtechnik
  • Beschichtungstechnik

    • Physikalische (Physical Vapor Deposition - PVD) und
      chemische (Chemical Vapor Deposition - CVD) Abscheidung von Filmen aus der
      Gasphase
    • Galvanische Verfahren

  • Dotierung und Oberflächenumwandlung
  • Ätztechnik

    • Nasschemisches Ätzen
    • Physikalisches, physikalisch-chemisches und chemisches Trockenätzen

  • Fotolithografische Verfahren zur Strukturdefinition
  • Fertigung im Reinraum

Hinweis

Das Prüfungsergebnis der Klausur vom Sommersemester 2016 ist im StudIP in der Veranstaltung vom Wintersemester 2015/16 zu finden. Die Klausureinsicht findet am 26.10.2016 um 09.00 im Besprechungsraum des IMPT statt.

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