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Mikro- und Nanotechnologie (V2/Ü1) - Belegnummer 31457

Aktualisiert am 16.10.2017

Art der Vorlesung: Vorlesung/Übung
Semester: Wintersemester
Studium: Grundstudium / Bachelor
Hauptstudium / Master
Betreuer: Alexander Kusch
Dozenten/Professoren: Dr.-Ing. M. C. Wurz
E-Mail: kuschimpt.uni-hannover.de
Creditpoints: 5

Stud.IP

Die Termine und Räume können variieren. Aktuelle Informationen finden Sie im Stud.IP !

Vorlesung im Stud.IP

Übung im Stud.IP

Beschreibung

Ziel der Vorlesung ist die Vermittlung von Kenntnissen über Prozesse und
Anlagen, die der Herstellung von Mikrobauteilen in Dünnfilmtechnik dienen.
Dabei stehen Technologien zur Fabrikation dieser Bauteile in einem als „Frontend
Prozess“ bezeichneten Waferprozess im Mittelpunkt. Die Herstellung der
Mikrobauteile erfolgt durch Einsatz von Beschichtungs-, Ätz- und Dotiertechniken
in Verbindung mit Photolithographie.

Inhalte

  • Grundlagen der Vakuumtechnik
  • Beschichtungstechnik

    • Physikalische (Physical Vapor Deposition - PVD) und
      chemische (Chemical Vapor Deposition - CVD) Abscheidung von Filmen aus der
      Gasphase
    • Galvanische Verfahren

  • Dotierung und Oberflächenumwandlung
  • Ätztechnik

    • Nasschemisches Ätzen
    • Physikalisches, physikalisch-chemisches und chemisches Trockenätzen

  • Fotolithografische Verfahren zur Strukturdefinition
  • Fertigung im Reinraum

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