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Mikrotechniklabor

Aktualisiert am 01.03.2017

Art der Vorlesung: Labor
Semester: Sommersemester
Studium: Hauptstudium / Master
Betreuer: Alexander Kusch
Dozenten/Professoren: Alexander Kusch
E-Mail: kuschimpt.uni-hannover.de
Creditpoints: 4
Vorlesungstag/Uhrzeit: Beginn jeweils um 8.30 Uhr
Raum/Ort: Besprechungsraum IMPT
Termin Die Vorbesprechung für das Mikrotechniklabor findet am 12.06.2017 um 9 Uhr im Besprechungsraum des IMPT statt.

Beschreibung

Das IMPT bietet das Mikrotechniklabor im Rahmen des Masterstudiengangs Nanotechnologie an.

Inhalt dieses Labors ist die Durchführung einer beispielhaften Prozesskette zur dünnfilmtechnischen Fertigung von Mikrobauteilen, anhand welcher ein Verständnis für die grundlegenden Prozesse und Verfahren der Mikrotechnologie vermittelt werden soll.

Dabei werden die Verfahren UV- und Elektronenstrahllithografie, und galvanische Abformung von den Studierenden unter Aufsicht eigenständig ausgeführt. Die herstellten Mikrobauteile werden im Anschluss mit den Analyseverfahren REM und EDX untersucht und bewertet.

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