Logo Leibniz Universität Hannover
Logo: IMPT - Institut für Mikropoduktionstechnik
Logo Leibniz Universität Hannover
Logo: IMPT - Institut für Mikropoduktionstechnik
  • Zielgruppen
  • Suche
 

Ion Beam Etching (IBE) – Commonwealth Scientific Corporation

Ion beam etching is used for the removal and structuring of thin layers, and technically a dry etching method. The material removal is purely physical because of the impact of high-energy particles with the material surface. At the IMPT, an ion beam system from Commonwealth Scientific Corporation is used.

Ansprechpartner: Jürgen Becker
Eike Fischer

Bild Ionenstrahlätzanlage (Ion Beam Etching - IBE) - Commonwealth Scientific Corporation Bild Ionenstrahlätzanlage (Ion Beam Etching - IBE) - Commonwealth Scientific Corporation

Bild Ionenstrahlätzanlage (Ion Beam Etching - IBE) - Commonwealth Scientific Corporation

Technical Details

  • 4“-Substrates
  • Variable Capacity

back