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Aufdampfanlage - Leybold LAB500plus

Das Aufdampfen ist ein Beschichtungsverfahren mit denen unterschiedliche Werkstoffe wie Leiter, Isolatoren oder Legierungen abgeschieden werden können. Zur Schichtherstellung wird eine Aufdampfanlage der Firma Leybold Optics vom Typ LAB500plus verwendet. Die Anlage verfügt zur Schichterzeugung sowohl über einen Elektronenstrahlverdampfer als auch über einen thermischen Verdampfer.

Ansprechpartner: Jürgen Becker
Alexander Kusch

Bild Aufdampfanlage - Leybold LAB500plus Bild Aufdampfanlage - Leybold LAB500plus

Bild Aufdampfanlage - Leybold LAB500plus

Technische Details

  • Beschichtung von 4“-Substraten
  • Abscheidbare Materialien:

    • Pt
    • Cr
    • Cu
    • SiO2
    • Al2O3
    • weitere nach Absprache

  • Verdampfungsverfahren:

    • Elektronenstrahlverdampfen
    • Thermisches Verdampfen

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