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Aufdampfanlage - Leybold LAB500plus

Das Aufdampfen ist ein Beschichtungsverfahren mit dem unterschiedliche Werkstoffe wie Leiter, Isolatoren, oder Legierungen abgeschieden werden können. Zur Schichtherstellung wird eine Aufdampfanlage der Firma Leybold Optics vom Typ LAB500plus verwendet. Die Anlage verfügt sowohl über einen Elektronenstrahlverdampfer als auch einen thermischen Verdampfer.

Ansprechpartner: Jürgen Becker
Kevin Cromwell
Sebastian Bengsch

Bild Aufdampfanlage - Leybold LAB500plus Bild Aufdampfanlage - Leybold LAB500plus

Bild Aufdampfanlage - Leybold LAB500plus

Technische Details

  • Beschichtung von 4“-Substraten
  • Abscheidbare Materialien:

    • Pt
    • Cr
    • Cu
    • SiO2
    • Al2O3
    • Weitere nach Absprache

  • Verdampfungsverfahren:

    • Elektronenstrahlverdampfen
    • Thermisches Verdampfen

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