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Maskenjustieranlage (Mask Aligner) - SÜSS MicroTec MA/BA6

Die Maskenjustieranlage MA-6 der Firma Karl Süss stellt die standardmäßige Fotolithografieanlage am Institut für Mikroproduktionstechnik dar. Hiermit können Substrate von 4“ bis 6“ sowohl mit Wellenlängen von 405 nm als auch 365 nm belichtet werden. Mit der MA-6 lassen sich Strukturen mit Kantenlängen bis zu 10 µm belichten.

Ansprechpartner: Jasmin Görs
Mathias Rechel

Bild Maskenjustieranlage (Mask Aligner) - SÜSS MicroTec MA/BA6

Technische Details

  • Belichtung von 4“ bis 6“ Wafern
  • Maskengröße bis 7“
  • 405 nm und 365 nm Wellenlänge
  • Kontakt-, Flut-, und Abstandsbelichtungen
  • Vorder- und Rückseitenbelichtung

 

 

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