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Maskenjustieranlage (Mask Aligner) - SÜSS MicroTec MA/BA6

Die Maskenjustieranlage MA-6 der Firma Karl Süss stellt die standardmäßige Fotolithografieanlage am Institut für Mikroproduktionstechnik dar. Hiermit können Substrate von 4“ bis 6“ sowohl mit Wellenlängen von 405 nm als auch 365 nm belichtet werden. Mit der MA-6 lassen sich Strukturen bis zu 10 µm Kantenlänge belichten.

Ansprechpartner: Jasmin Görs

Bild Maskenjustieranlage (Mask Aligner) - SÜSS MicroTec MA/BA6

Technische Details

 

  • Belichten von 4“ bis 6“ Wafern
  • Maskengröße bis 7“
  • 405 nm und 365 nm Wellenlänge
  • Kontakt-, Flut- und Abstandsbelichtungen
  • Vorder- und Rückseitenbelichtung

 

 

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