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Läpp- und Nanoschleifmaschinen - P. Wolters 3R40

Für die Oberflächenbearbeitung von kleineren Substraten bis 4“-Durchmesser stehen am IMPT vier Läppmaschinen vom Typ P. Wolters 3R40 zur Verfügung. Die Maschinen nehmen Scheiben mit einem Durchmesser von max. 400 mm (16“) auf.

Ansprechpartner: Manuel Stompe
Esmail Asadi

Bild Läpp- und Nanoschleifmaschinen - P. Wolters 3R40 Bild Läpp- und Nanoschleifmaschinen - P. Wolters 3R40

Bild Läpp- und Nanoschleifmaschinen - P. Wolters 3R40

Bild Läpp- und Nanoschleifmaschinen - P. Wolters 3R40

Beschreibung

Das Werkstück (Substrat, Chip) wird auf einem runden Werkszeughalter befestigt und seitlich durch Gummirollen, die in einem Haltearm gelagert sind (Gabel), abgestützt. Der Werkstückhalter kann entweder selbsttätig mitlaufen (angetrieben durch die Läppscheibe) oder wird mit einem, an die Gummirolle der Gabel angeschlossenem, Reibantrieb gedreht. Die Einstellung des Anpressdrucks erfolgt durch Gewichte. Für die Läppmaschinen sind spezielle Zusatzausrüstungen vorhanden, die es ermöglichen, die Maschine in eine Nanoschleif- oder vollwertige Poliermaschine umzurüsten. Es können auf der gleichen Maschine im Anschluss an das Läppen hochglanzpolierte Flächen von höchster Ebenheit und Oberflächengüte, frei von jedem Kantenabfall erzeugt werden. Das Umrüsten der Läppmaschine geschieht durch Austausch der Spezialguss-Läppscheibe gegen eine Trägerscheibe aus Aluminium. Auf der Trägerscheibe kann man eine dünne Scheibe aus Kupfer, Zinn, Zinn-Bismuth oder Kunststoff auftragen. Durch spezielle Konditioniervorgänge werden Abrasivkörner in diesem weichen Belag eingebettet und somit eine Schleifoberfläche für Nanoschleifen geschaffen. Durch Kleben des geeigneten Poliertusches auf die Trägerscheibe, wird die Maschine für den Poliervorgang vorbereitet. Die Abricht- bzw. Werkstückaufnahmeringe müssen entsprechend gegen Ringe mit Keramik- oder Polymerbestückung ausgewechselt werden, um eine Verfärbung der Werkstückoberfläche und Korrosion zu vermeiden. Unter Berücksichtigung der chemischen Komponente in Slurry und Korrosionsschutz der Maschinenteile können auf der entsprechend angepassten Maschine auch die CMP-Prozesse durchgeführt werden. 

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