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Galvanik-Bäder

Mittels der am IMPT vorhandenen galvanischen Bäder lassen sich unterschiedliche Metalle in Mikroformen abscheiden. Die Bäder sind für die Aufnahme von Wafern mit einem Durchmesser von vier Zoll vorgesehen.

Ansprechpartner: Brij Mohan Mundotiya
Martin Hesse
Alexander Kassner

Bild Galvanik-Bäder Bild Galvanik-Bäder

Bild Galvanik-Bäder

Verfügbare Bäder

  • Kupfer (Cu)
  • Nickel-Eisen (NiFe 45/55, NiFe 81/19)
  • Nickel (Ni)
  • Kobalt-Eisen(CoFe)
  • Gold (Au)

Beschreibung

Das galvanische Bad besteht aus einem Vorratsbehälter und einer Zelle, welche durch ein Filtersystem von einander getrennt sind. Die Anode und Kathode sind parallel zueinander horizontal in der galvanischen Zelle angeordnet. Die Agitation des Elektrolyten wird mit Hilfe eines horizontal bewegten Paddels realisiert. Die Anlagen können mit einem DC-Strom oder einem gepulsten DC-Strom (optional mit Rückwärtsstrom) betrieben werden.

Technische Details

  • Volumen des Elektrolyten: 10 Liter
  • Substratgröße: Wafer mit 4 Zoll bzw. 6 Zoll 
  • Prozesstemperatur: Raumtemperatur bis 45°C
  • Stromsquelle: DC-Strom oder gepulster DC-Strom (optional mit Rückwärtsstrom)

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