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Kathodenzerstäubung – von Ardenne Clustersystem CS 730 S

Das Vierkammer-Clustersystem dient zur Abscheidung von metallischen und isolierenden Schichten durch DC- und RF-Kathodenzerstäubung. Die Substratreinigung kann mittels RF-Bias-Equipment realisiert werden. Das Substrathandling wird zwischen der Magazinkammer, der Transferkammer, der Heizkammer und der eigentlichen Prozesskammer automatisch durch einen Vakuumroboter durchgeführt.

Ansprechpartner: Sebastian Beringer
Folke Dencker

Bild Kathodenzerstäubung –  von Ardenne Clustersystem CS 730 S

Technsiche Details                  

 

Anzahl der Targets

4x 8“-Targets

Generatoren

2x DC (500W; 3000W), 2x RF (600W; 1000W)

Probendurchmesser

bis zu 150 mm  

Steuerung

Rechnergestützt

Magazinaufnahme

bis zu 4x Tragplatten (ausgelegt für 2“, 4“ oder 6“ Wafer)

Kammern 

Magazinkammer, Transferkammer, Heizkammer, Prozesskammer

Pumpensystem

4x Membranpumpen; 4x Turbo-Drag-Pumpen

Prozessgase

Argon, Sauerstoff, Stickstoff

 

 

 

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