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Entwicklung von hermetischen Stromdurchführungen

Ansprechpartner/Betreuer: Alexander Kassner
Bereich: Dünnfilmtechnik
Art der Arbeit:Abschluss-/Projektarbeit
Angebot eingestellt am 27.02.2017
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Zur Erzeugung von BoseEinsteinKondensaten (BEK) und der auf diesen basierenden Atominterferometrie werden am IMPT sogenannte Atom-Chips gefertigt. Durch den Einsatz von hermetischen Stromdurchführungen können die bisher verwendeten elektrischen Durchführungen eingespart werden. Durch den gleichzeitigen Einsatz von kleberfreien Produktionsmethoden kann das Ausgasen der Atomchips wesentlich verringert und so die Lebensdauer und damit die Teilchenzahlen ultrakalter atomarer Ensembles nahe des Chips deutlich erhöht werden.

Dafür werden mittels reaktivem Ionentiefenätzen Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis erzeugt, isoliert und anschließend galvanisch aufgefüllt. Im Rahmen dieser Arbeit sollen Techniken zur Realisierung von hermetischen Stromdurchführungen erarbeitet und anschließend fertigungstechnisch umgesetzt werden.

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